超高真空排氣臺主要用于器件的排氣，SSI在超高真空排氣臺行業(yè)擁有多年的項目經驗,，可以根據客戶的需求定制工藝過程,。
主要技術參數：
1、系統極限真空度高,，系統的極限真空可達10-8Pa 量級。
2,、整個真空抽氣系統和真空測量系統采用進口配置,，性能穩(wěn)定，可靠性高,，全無油設計,，無油氣污染。
3,、多個抽氣工位（可以根據客戶的要求定制對接接頭）,，生產效率高。
4,、觸摸屏顯示,，方便簡單；電控參數可任意設定,，便于用戶數據儲存及工藝調試,。
