產(chǎn)品介紹
五軸高低溫樣品臺(tái)主要用于MBE,、LT - STM等薄膜制備及表征系統(tǒng)中,?？蓪?shí)現(xiàn)樣品五軸運(yùn)動(dòng),，樣品高溫可到1000℃，樣品低溫可小于100 K,。
主要技術(shù)參數(shù)：
1）五軸運(yùn)動(dòng)：X Y ±12.5 m 行程,，手動(dòng)驅(qū)動(dòng)，精度 0.002 mm,；Z 500 mm行程（可定制）,，電動(dòng)驅(qū)動(dòng)，精度0.01 m m,；Polar ± 180°旋轉(zhuǎn),；Azimuthal 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
2）五軸運(yùn)動(dòng)均可選擇手動(dòng)或電動(dòng)驅(qū)動(dòng)
3）適用于旗型樣品托
4）液氮低溫制冷：最低溫度＜100K（樣品托溫度）
5）電子束加熱溫度范圍：室溫-1000℃（樣品托溫度）
6）電阻加熱溫度范圍：室溫-800℃（樣品托溫度）
7） 直流樣品臺(tái)（僅四軸運(yùn)動(dòng)）：閃規(guī)直流加熱
8） 真空漏率：＜1x10-12 Pa.m3 /s
9）最高烘烤溫度：150 ℃
1）使用真空范圍：超高真空環(huán)境
（備注：液氮低溫制冷、電子束加熱,、電阻加熱,、直流樣品臺(tái)為可選功能，可根據(jù)需求合理組合,，可定制其他功能,。）
測(cè)試數(shù)據(jù)：
樣品臺(tái)加熱升溫曲線
液氮制冷樣品臺(tái)降溫曲線
