產(chǎn)品介紹
俄歇電子能譜儀（AES），是通過采集俄歇電子,，分析材料的表層化學(xué)成分定性或定量信息的儀器,，主要應(yīng)用于表層輕微元素分析,。俄歇電子能譜儀的結(jié)構(gòu)由置于超高真空的旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái),、電子槍（激發(fā)源）,、聚焦離子槍,、電子能量分析器,、電子探測(cè)器等部件組成主,，并配有計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,。
主要技術(shù)參數(shù)：
1、適用于旗型樣品托,高精度4維樣品臺(tái)（X Y Z +旋轉(zhuǎn)）
2,、樣品加熱溫度可達(dá)：1000℃以上,，潔凈加熱器
3、系統(tǒng)本底真空：10-11 Torr 量級(jí)
4,、采用整體加工一體成型腔室
5,、電子槍具備聚焦和掃描功能
6、配備雙筒棱鏡電子能量分析器
1）俄歇電子動(dòng)能1000 e V時(shí)能量分辨好于1.4 eV2）可采集動(dòng)能范圍 0 - 2500 e V
3）電子槍束斑可以小到80微米
4）電子槍束流可以達(dá)到80微安
5）電子束能量20 eV～5 keV
