產(chǎn)品介紹
超高真空熱脫附質(zhì)譜（UHV-TDS）工作站通過(guò)加熱樣品,，進(jìn)而采用質(zhì)譜儀,，定量分析熱脫附的氣體成分,。
工作站具有多接口超高分析真空室,，其配備樣品加熱臺(tái),、四極質(zhì)譜儀,，具有很高的靈敏度和時(shí)間分辨率,。四極桿質(zhì)譜（RGA）配置水冷套,，以給質(zhì)譜提供最佳靈敏度環(huán)境。工作站同時(shí)也配備Load - Lock系統(tǒng),，實(shí)現(xiàn)快速樣品裝載及傳輸,。UHV TDS工作站是一個(gè)緊湊的臺(tái)式裝置，可以有效節(jié)省寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間,。
主要技術(shù)參數(shù)：
1）樣品托：旗型樣品托或定制樣品托
2）配置4維高溫樣品臺(tái),，可以實(shí)現(xiàn)快速升溫
3）樣品加熱臺(tái)：電子束加熱、電阻加熱,、激光加熱
4）最高加熱溫度：1800℃
5）系統(tǒng)極限真空：10-11 Torr量級(jí)
6）系統(tǒng)配置四級(jí)桿質(zhì)譜：1-200amu （帶屏蔽和運(yùn)動(dòng)控制）
7）系統(tǒng)配置整體烘烤系統(tǒng)
