產(chǎn)品介紹
1,、真空互聯(lián)系統(tǒng)（LTS）：
為了避免由于樣品表面污染而造成的改變與損傷,，薄膜材料通常需要放置于真空環(huán)境中。只有在真空度優(yōu)于10-10Torr數(shù)量級(jí)的超高真空環(huán)境中,，原子級(jí)干凈的表面才可能保持?jǐn)?shù)小時(shí),，從而使得原子層生長(zhǎng),、表面/界面控制和本征性質(zhì)表征成為可能。
真空互聯(lián)總體分成兩大類(lèi)：直線真空互聯(lián)及RDC互聯(lián),。
直線真空互聯(lián)通過(guò)直線超高真空管道將多個(gè)工作站互聯(lián)起來(lái)組成完整的薄膜制備,、表征的原位系統(tǒng)。樣品小車(chē)在超過(guò)真空管道內(nèi)直線運(yùn)動(dòng),，樣品小車(chē)上可裝載數(shù)個(gè)樣品或樣品托,。采用磁力耦合機(jī)械手將樣品或樣品托真空互聯(lián)管道與工作站之間進(jìn)行交互傳送。
這樣,，薄膜制備設(shè)備與各表征儀器設(shè)備之間實(shí)現(xiàn)了超高真空的互聯(lián),，從而實(shí)現(xiàn)樣品結(jié)構(gòu)和器件性能的原位表征。并且,，不同材料的薄膜沉積需要不同的薄膜沉積工藝,，結(jié)合起來(lái)就可以制備出獨(dú)特的多層結(jié)構(gòu)樣品。也就是說(shuō)在本底真空優(yōu)于10-10Torr數(shù)量級(jí)的超高真空環(huán)境下,，新鮮制備的樣品可以從生長(zhǎng)室直接通過(guò)真空管道輸送到各個(gè)表征分析室,，從而保護(hù)樣品表面免受氧化或與大氣暴露相關(guān)的其他結(jié)構(gòu)或化學(xué)變化。
2,、SSI真空互聯(lián)系統(tǒng)概述及特點(diǎn)：
2.1 樣品小車(chē)上基片（或樣品托）尺寸：18mm,，2英寸，3英寸，4英寸
2.2 樣品小車(chē)上基片（或樣品托）數(shù)量：6-12可選
2.3 全自動(dòng)或半自動(dòng)或手動(dòng)控制模式可選
2.4 不僅僅可是實(shí)現(xiàn)水平方向的互聯(lián),，也可以實(shí)現(xiàn)垂直方向的互聯(lián)
2.5 本底極限真空：優(yōu)于10-10Torr
2.6 Load-Lock樣品進(jìn)樣烘烤,、預(yù)清洗功能可選
2.7進(jìn)樣室可選
2.8 系統(tǒng)烘烤形式：電熱帶或整體烘烤可選
