產(chǎn)品介紹
UHV Suitcase 主要用于超高真空系統(tǒng)間樣品的傳遞與樣品儲(chǔ)存。
主要特點(diǎn)：
1）UHV腔室采用316L不銹鋼整體加工而成,，與傳統(tǒng)焊接腔室相比具有如下優(yōu)勢(shì):1）避免焊接可能造成的泄漏,；2）在相同法蘭個(gè)數(shù)的情況下，樣品儲(chǔ)存腔內(nèi)表面積減小40%,，更有利于系統(tǒng)的極限真空,；重量減20%，更利于攜帶
2）結(jié)構(gòu)緊湊,，占地面積小,，總重量13kg
3）極限真空 10-11torr量級(jí)
4）多種樣品托抓手可供選擇
5）可選擇Z向運(yùn)動(dòng)或Z向+旋轉(zhuǎn)，適用于不同應(yīng)用
6）機(jī)械手可配置Wobble Stick 或 Transfer Arm
7）可選配置移動(dòng)電源,，為離子泵控制提供長(zhǎng)達(dá)20天供電
8）可選配行李箱,，用于遠(yuǎn)距離運(yùn)輸
