產(chǎn)品介紹
工業(yè)級(jí)電子束蒸鍍機(jī)主要用于鈦,、鋁,、鉬,、銅,、鋅等金屬物以及氮化鈦,、二氧化硅等化合物材料的高速生長(zhǎng)沉積，從而實(shí)現(xiàn)高效大批量產(chǎn)能,。
電子槍可以容納多個(gè)坩堝（最多8個(gè)）,，實(shí)現(xiàn)多種材料交替沉積或配雙電子槍實(shí)現(xiàn)共沉積的鍍膜工藝。采用高精度的雙探頭膜厚測(cè)量?jī)x,，對(duì)鍍膜過(guò)程進(jìn)行全程在線(xiàn)監(jiān)控,，配備鍍膜均勻擋板，可以輕松實(shí)現(xiàn)良好的大襯底的膜厚均勻性,。
主要技術(shù)參數(shù)：
1）襯底尺寸：4英寸,、6英寸、8英寸
2）襯底個(gè)數(shù)：4,、6,、8,、12等可選
3）沉積均勻性：±3%
4）樣品架形式：穹頂式、行星式可選
5）襯底加熱溫度：室溫至450℃,，旋轉(zhuǎn)速率0-20rpm
6）離子源輔助沉積鍍膜及樣品清洗功能可選
7）多種電子槍坩堝個(gè)數(shù)和容積的組合可選
8） 電子槍個(gè)數(shù)：?jiǎn)蝹€(gè)或兩個(gè)可選
9）雙探頭QCM膜厚在線(xiàn)監(jiān)控
10）蒸發(fā)本底真空：10-8 Torr高真空
11）主抽真空泵：低溫泵
12）維護(hù)模式或全自動(dòng)或手動(dòng)控制模式可選
