產品介紹
超高真空束源除氣系統(tǒng)主要用于對MBE束源,、單獨坩堝進行除氣及儲存。SSI可根據客戶束源爐,、坩堝定制除氣及儲存系統(tǒng)。
主要技術參數(shù)：
1,、系統(tǒng)極限真空：10-10Torr量級
2、可以定制不同數(shù)量的除氣及儲存工位
3,、控制系統(tǒng)可配置束源除氣程序
4,、系統(tǒng)配置多路冷卻水循環(huán)系統(tǒng)
5、系統(tǒng)采用整體熱風循環(huán)烘烤方式,，烘烤更便捷
6,、除氣工位配置冷卻水套及Shutter
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