產(chǎn)品介紹
束源是專用于分子束外延（MBE）的核心部件之一,，它可以在超高真空環(huán)境下,，通過精確加熱控溫坩堝內(nèi)的被蒸發(fā)物或通過電子束加熱金屬材料在襯底上沉積多種所需要的單層或多層薄膜,。
Effusion Cell
1）自帶水冷套及shutter（手動和氣動可選）,；2）坩堝材質(zhì)：PBN、Al2O3,、Ta等,；3）中溫束源溫度：室溫~ 1 4 0 0℃
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E-beam Evaporator |
K-Cell Heater 控制器 |
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